在Ｘ熒光分析儀中主要分為能量色散與波長色散分析技術(shù)。

    能量色散方法

    能量色散分析儀只有一個探測器，它對測量Ｘ射線能量范圍是不受限制的，而且這個探測器能同時測量到所有能量的Ｘ射線。也就是說只要激發(fā)樣品的Ｘ射線的能量和強度能滿足激發(fā)所測樣品的條件，對一組分析的元素都能同時測量出來。一般有以下三種基本類型的探測器可用于測量Ｘ射線：密封式或流氣式充氣探測器、閃爍探測器、半導體探測器。

    能量色散的條件是當樣品被激發(fā)后產(chǎn)生的Ｘ射線通過窗口進入探測器探測器把Ｘ射線能量轉(zhuǎn)換成電荷脈沖，每個Ｘ射線光子在探測器中生成的電荷與該光子的能量成正比。該電荷被轉(zhuǎn)換成電壓脈沖，當這些電壓脈沖經(jīng)充分放大后，被送入脈沖處理器，脈沖處理器把這些代表著各個元素的模擬信號再轉(zhuǎn)換成為數(shù)字信號，由計算機進行分類，分別存入多道分析器（ＭＣＡ）的相應(yīng)通道內(nèi)，一般使用１０２４－２０４８道ＭＣＡ。這些通道覆蓋了分析的整個能量范圍。

    波長色散系統(tǒng)

    波長色散系統(tǒng)分析儀是用多個衍射晶體分開待測樣品中各元素的波長，由此對元素進行測量。晶體被安裝在適當位置，以滿足布拉格定律的要求。

    Ｘ射線熒光分析和其它光譜分析一樣，也是一種相對分析。這就是說，要有一套參考標樣，這些參考標樣能夠在可能感興趣的范圍內(nèi)覆蓋所測元素。首先對這些標樣進行測量，記錄欲分析元素的強度，建立濃度（含量）、強度（ＣＰＳ）校準曲線，存入處理數(shù)據(jù)的計算機，供以后分析同一類型未知樣品時使用。

    最簡單的校準線是直線，強度與濃度的依賴關(guān)系反映儀器的靈敏度。

    另外由于校準線要在很長一段時間內(nèi)使用，所以應(yīng)對儀器的漂移作出調(diào)整，盡管這種漂移不大，但它確實存在。這可以通過對每個分析元素選用高、低兩個參考點來實現(xiàn)。制備若干被稱作ＳＵＳ（調(diào)整樣）的特殊樣品，它們含有適量的分析元素，有很好的長期穩(wěn)定性。利用它們可以求出高、低強度值。實際上大型波散分析儀在國外均化非常好，原料穩(wěn)定的水泥生產(chǎn)企業(yè)常常使用這種校準方法，我國少數(shù)條件好的企業(yè)也采用了這一簡單的方法，效果比較好。

    對于我國大型水泥生產(chǎn)企業(yè)和原料來源基本穩(wěn)定均化較好的生產(chǎn)線，用能量色散型儀器也能較好地解決檢測分析問題。

    實際上在我國水泥生產(chǎn)企業(yè)推廣應(yīng)用ＸＲＦ技術(shù)從總體上看不是很成功，除了少數(shù)幾個企業(yè)使用的基本發(fā)揮作用外，絕大多數(shù)都沒有發(fā)揮作用，甚至我國水泥行業(yè)中形成了一種定論：只有波長色散系統(tǒng)能解決水泥生產(chǎn)行業(yè)的分析問題，能量色散不能解決或不適應(yīng)水泥行業(yè)應(yīng)用。我國水泥行業(yè)是一種有中國自己特色的行業(yè)。首先從規(guī)模、條件、發(fā)展、歷史方面都是無法同國際上的水泥行業(yè)相比，只有少數(shù)生產(chǎn)線可以相比。國際上知名的能量色散儀器經(jīng)過嘗試也都先后退出了中國水泥行業(yè)。歸根結(jié)底是沒有真正認識和解決好基體效應(yīng)和顆粒度效應(yīng)的干擾。在校正曲線的樣品制備方面，嚴重缺乏科學性、實用性、準確性，導致最原始的參考標樣不能適用于未知樣品的分析，從而否定和懷疑最適合我國水泥行業(yè)推廣應(yīng)用的能散Ｘ熒光分析儀。這里要強調(diào)的是能量色散型Ｘ分析儀沒有行業(yè)規(guī)范進行專項檢驗，長期以來一批同位素激發(fā)的Ｘ熒光分析儀和不成熟的Ｘ光管激發(fā)的Ｘ熒光分析儀進入水泥行業(yè)的分析工作中，造成了一定的影響。

    隨著ＩＳＯ標準的深入貫徹，Ｘ熒光分析儀應(yīng)快速進入到水泥行業(yè)中來，以取代以往傳統(tǒng)的、落后的化學分析方法。